|  | 
          
         
          
            | 
              
			  
                | 
				   
                  
                    | 
                      
                        | ¹ÝµµÃ¼ Slurry °ø±ÞÀåÄ¡ ¼³°è ÆÀÀå (CAD, PRO E) |  |  
                            | 
           
| 
| Ç÷¯½ºÀÌ¿£Áö(ÁÖ) ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ Çٽɱâ¾÷ÀÌ µÇ±â À§ÇØ µµÀüÁ¤½ÅÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î âÀÇ·Â, ±â¼ú·Â, Àΰ£ Á߽ɵîÀÇ °¡Ä¡¸¦ Áß½ÃÇϸç Àü ÀÓÁ÷¿øÀÌ ±â¾÷¹ßÀüÀ» À§ÇØ ÇÕ½ÉÇÏ¿© Àü·ÂÀ» ´ÙÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ CMP °øÁ¤¿ë ½½·¯¸® °ø±ÞÀåÄ¡(Slurry Supply System) ¹× ÈÇоàǰÁß¾Ó°ø±ÞÀåÄ¡(Central Chemical Supply System)ºÐ¾ß¿¡ Çٽɱâ¼ú( Know-How)·Î ÃÖÀûÀÇ ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â ¿ì¼öÇÑ ±â¾÷À¸·Î Æò°¡ ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÇØ¿Ü±â¼úÇù·ÂÀ» ÅëÇÑ ½Ã½ºÅÛ °³¹ßÀ» ÁøÇàÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ¿ø°¡Àý°¨À» À§ÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÀÚÀçÀÇ ÇØ¿Ü °ø±Þ¼± ´Ùº¯È ¹× ±¹»êȸ¦ µµ¸ðÇÏ¿© ¼ø¼öÇÑ ¿ì¸® ±â¼úÀÇ Á¦Ç° °ø±ÞÀ» À§ÇØ ³ë·ÂÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. [±â¾÷ºñÀü ]
  [°æ¿µ¹æÄ§ ] ½Å¼ÓÇϰí Á¤È®ÇÑ / ¼³°è ¹× Á¦ÀÛ / ÇöÀå(Set-up) / After Service [»ç¾÷¿µ¿ª ¹× ÁÖ¿ä»ý»êǰ ]
  [Á¶Á÷µµ ]
 .gif) [º¹¸®ÈÄ»ý ]
 .gif) |  |  
|  |  
|  ±â¾÷ Æ÷ÅäÁ¤º¸ |  
|  |  |  
                            |  |  
                    |  |  |  |  
                |  |  |  |